本文件界定了表面化學分析領域掃描探針顯微術方面的術語，并給出了相關縮略語清單(見附錄A)。
本文件適用于表面化學分析中掃描探針顯微術相關的教學、科研、設計、制造、編寫相關技術文件和書刊及技術交流。
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