本文件規(guī)定了使用臨界流銳孔系統(tǒng)動態(tài)制備校準用混合氣體的方法。校準用混合氣體至少包括由純氣或預混合氣體組成的兩種氣體（其中之一通常為補充氣）。
本文件規(guī)定的方法主要適用于制備不與臨界流銳孔系統(tǒng)或輔助設(shè)備中的氣體管路材質(zhì)發(fā)生反應的混合氣體。使用合適數(shù)量的臨界流銳孔時，可制備多組分混合氣體。
選用合適的臨界流銳孔組合，稀釋比可達到1×104。
盡管本文件規(guī)定的方法通常應用于制備大氣壓條件下的混合氣體， 但本文件規(guī)定的方法也能用于制備壓力超過大氣壓的校準用混合氣體。使用本文件規(guī)定的方法，上游氣體壓力需至少比下游氣體壓力高兩倍。
本文件適用的流量范圍為1 mL/min～10 L/min。