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納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 20307-2006
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、同濟(jì)大學(xué)，中國(guó)科學(xué)院化學(xué)所，中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所
發(fā)布日期： 2006-07-19
實(shí)施日期： 2007-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年01月19日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測(cè)量納米級(jí)長(zhǎng)度的基本原則。適用于測(cè)量10nm-500nm的點(diǎn)或線(xiàn)的間距。

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