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電子工業(yè)用氣體 八氟丙烷

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 31986-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司
發(fā)布日期: 2015-09-11
實(shí)施日期: 2016-05-01
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更新日期: 2017年04月27日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了八氟丙烷的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備,并通過精餾、吸附、催化等工藝提純的八氟丙烷產(chǎn)品,以及碳和氟直接反應(yīng)法合成的八氟丙烷產(chǎn)品。它在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗氣體。
分子式:C3F8。
相對(duì)分子質(zhì)量:188.017(按2011年國際相對(duì)原子質(zhì)量)。

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