本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書以及訂貨單 (或合同)內容。
本標準適用于以粗三氯氫硅為原料經過提純而制得的硅外延用三氯氫硅(以下簡稱產品)。
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