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表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測(cè)定

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 28632-2012
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家工程研究中心
發(fā)布日期: 2012-07-31
實(shí)施日期: 2013-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年02月04日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三種條件下測(cè)量俄歇電子能譜儀和X射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法。直邊法適用于橫向分辨率預(yù)期值大于1μm 的儀器。柵格法適合于橫向分辨率預(yù)期值大于20nm,小于1μm 的儀器。金島法則適用于橫向分辨率預(yù)期值小于50nm 的儀器。
附錄A、附錄B和附錄C給出了測(cè)量橫向分辨率的帶圖的實(shí)例。

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