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工業(yè)高純氫氟酸

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): HG/T 4509-2013
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位: 浙江凱恒電子材料有限公司等
發(fā)布日期: 2013-10-17
實(shí)施日期: 2014-03-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2015年08月18日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了工業(yè)高純氫氟酸的分級(jí)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)高純氫氟酸。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻,以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。

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