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硅多晶

標(biāo) 準(zhǔn) 號： YB 1601-1983
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國冶金工業(yè)部
起草單位： 峨眉半導(dǎo)體材料廠
發(fā)布日期： 1983-08-18
實施日期： 1984-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2011年12月25日
內(nèi)容摘要

      本標(biāo)準(zhǔn)適用于三氯氫硅、四氯化硅氫還原法和硅烷熱分解法抽取的棒狀高級硅多晶。

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