本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化亞氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)中化學(xué)氣相淀積工藝。