1.先送水源,檢查水源是否暢通,水壓р﹥0.lMPa,否則不準(zhǔn)開爐。
2.合上總電源,再合上操作電源。
1.開機(jī)械泵,分別打開1號(hào)、2號(hào)閘門。
2.合上真空計(jì)總電源,接通熱電偶電源,調(diào)整好加熱電流(電流調(diào)為128A)測(cè)量真空度。
電流為22mA時(shí)真空度為10-1Torr(13.3Pa);
電流為84mA時(shí)真空度為10-2Torr(1.33Pa);
電流為98mA時(shí)真空度為10-3Torr(0.133Pa);
電流為10OmA時(shí)真空度為10-4Torr(0.0133Pa)。
5.真空度高于1.33Pa以后,打開3號(hào)真空閥,使擴(kuò)散泵內(nèi)的真空度也達(dá)到1.33Pa以上。
6.擴(kuò)散泵送電加熱,約40min以后,泵油加熱蒸發(fā),這時(shí)關(guān)閉2號(hào)真空閥,然后再打開高真空閥。
7.真空度高于0.133Pa后關(guān)閉“熱電偶電源”,打開“電離計(jì)電源”,用電離計(jì)測(cè)量真空度。
8.把電子電位差計(jì)的定針調(diào)到要求的溫度值,把“PID”調(diào)整到規(guī)定的比例帶和積分、微分時(shí)間(比例帶為40%~150%,積分時(shí)間為6~2.5min,微分時(shí)間為5~4min)
9.把電路電源“手動(dòng)給定”旋鈕調(diào)到最小,開關(guān)打到“自動(dòng)”位置,把“PID”調(diào)節(jié)器的“手動(dòng)”調(diào)到最小,開關(guān)打到“手動(dòng)”位置,并接通“PID”電源。
10.電爐送電,調(diào)整“PID”的“手動(dòng)”,使三相電流表的輸出指示基本均衡在30~70A。
11.待爐溫接近給定值時(shí),把“PID”的爐溫控制從“手動(dòng)”打到“自動(dòng)”以便進(jìn)行自動(dòng)控制。
12.保溫時(shí)間滿足要求后,如工藝要求隨爐冷卻,可關(guān)閉電爐電源。如工藝要求控制冷卻,即把“PID”由“自動(dòng)”打到“手動(dòng)”,靠“手動(dòng)”調(diào)節(jié)冷卻。
13.350℃以上不準(zhǔn)關(guān)閉水源和真空系統(tǒng),關(guān)閉擴(kuò)散泵時(shí),必須首先關(guān)閉高真空閥,然后關(guān)閉3號(hào)真空閥,打開2號(hào)真空閥。
14.關(guān)閉機(jī)械泵時(shí),先關(guān)閉2號(hào)真空閥,再關(guān)閉電源。
15.爐溫高于150℃時(shí),不準(zhǔn)放氣和打開爐蓋。
16.工作過程中一定要嚴(yán)格遵守上述安全技術(shù)操作規(guī)程,不準(zhǔn)脫離崗位,經(jīng)常注意檢查水源、儀器、真空度、電機(jī)、變壓器、風(fēng)扇、電表等運(yùn)行是否正常,發(fā)現(xiàn)異常,及時(shí)報(bào)告處理。