一 真空機(jī)組開機(jī)流程
1、 啟動(dòng)VB150維持泵，然后打開出口閥。當(dāng)電阻計(jì)2真空度達(dá)到5帕以下時(shí)，啟動(dòng)擴(kuò)散泵加熱。
2、 啟動(dòng)VB200旋片泵，打開旁通閥；當(dāng)電阻計(jì)1真空度達(dá)到2000帕以下時(shí)，開啟2ZJP—300羅茨泵，進(jìn)行預(yù)抽。
3、 擴(kuò)散泵加熱50分鐘以上且電離計(jì)真空達(dá)到5帕以下時(shí)，先關(guān)閉旁通閥，再打開主閥，進(jìn)行主抽。
4、 關(guān)閉2ZJP—300羅茨泵，30秒后關(guān)閉VB200旋片泵。
二 真空機(jī)組關(guān)機(jī)流程
1、 關(guān)閉主閥。
2、 啟動(dòng)-----關(guān)機(jī)程序。
三 真空機(jī)組使用注意事項(xiàng)
1、 真空機(jī)組在使用的整個(gè)過程中，必須保證水路、氣路完整通暢。
2、 必須嚴(yán)格按照真空機(jī)組的開機(jī)、關(guān)機(jī)流程，進(jìn)行操作。
3、 擴(kuò)散泵加熱過程中，若不慎斷水。應(yīng)先關(guān)閉擴(kuò)散泵電源，再關(guān)閉主閥。然后摘下擴(kuò)散泵電爐加熱器，并使用電風(fēng)扇進(jìn)行降溫。在這過程中，要一直保持VB150維持泵和出口閥處于開啟狀態(tài)。
4、 擴(kuò)散泵加熱過程中，若VB150維持泵出現(xiàn)故障不工作，應(yīng)先關(guān)閉出口閥，然后啟動(dòng)VB200旋片泵，再啟動(dòng)2ZJP—300羅茨泵，打開維持閥進(jìn)行主抽。