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真空技術(shù) 真空計 放氣率的測試和報告程序

標 準 號: GB/Z 42624-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 湖南維格磁流體股份有限公司、合肥工業(yè)大學、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司
發(fā)布日期: 2023-05-23
實施日期: 2023-05-23
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年11月11日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了真空室整體及其組件的放氣率測試程序。本文件適用的放氣率由應(yīng)用于高真空或超高真空的設(shè)備產(chǎn)生,在23℃時小于1×10-5Pa·m3·s-1(1×10-2Pa·L·s-1),放氣產(chǎn)生的各種氣體或蒸氣的分子量均小于300u。
總放氣率的上限1×10-5Pa·m3·s-1與放氣材料的尺寸、總表面積、材質(zhì)或者狀態(tài)無關(guān)。如果標稱放氣率(單位面積放氣率)已測定,則該面積采用名義幾何表面積,而非包括表面粗糙度的比表面積。當難以測定樣品(如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者復(fù)雜的設(shè)備等)的名義幾何表面積時,采用單位質(zhì)量放氣率(如每克放氣率)。
在許多實際應(yīng)用中,只需確定總放氣率。如果使用了靈敏度與氣體種類有關(guān)的測試儀器,則總放氣率以等效氮氣放氣率的形式給出。如果總放氣率很高,為了改進樣品材料,存在需要辨別干擾氣體的種類和測定其放氣率的情況。本文件涵蓋上述兩種情況。
放氣產(chǎn)生的一些分子能夠被表面吸附且滯留時間遠長于總測試時間。這些分子不在直接路徑上時,也不能被測試儀器檢測到。這可認為是一種表面效應(yīng),采用表面分析研究遠比這里考慮的常規(guī)放氣率測量更加行之有效。同時,受紫外光或X射線照射從表面釋放的分子,也不適用于本文件。
制定本文件是為了使放氣率的測試方法標準化,使得在不同實驗室和采用不同方法獲得的測試值具有可比性。為此,對于本文件中規(guī)定的任一種方法,每種方法中最重要的參數(shù)可依據(jù)計量水平溯源到國際基本單位(SI)。
質(zhì)量損失法是一種與氣體種類無關(guān)的放氣率測試方法,主要用于航天器及衛(wèi)星材料的放氣率測試。在可接受的測試時長范圍內(nèi),質(zhì)量損失法可測試的放氣率(>1×10-5Pa·m3·s-1)明顯高于常規(guī)高真空和超高真空組件的放氣率。而且,由于天平不適于在真空環(huán)境下應(yīng)用,考慮到真空室的重量,無法原位測試樣品。因

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