本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用氦質(zhì)譜法和升壓法對(duì)真空系統(tǒng)的漏率進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試原理、儀器與設(shè)備、測(cè)試條件、測(cè)試程序、漏率測(cè)試中斷處理、測(cè)試記錄與測(cè)試報(bào)告。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空系統(tǒng)(以下簡稱被檢件)的漏率測(cè)試。