半導體工亞是技術較為先進的高新技術產(chǎn)業(yè), 但在生產(chǎn)過釋中產(chǎn)生的污染問題, 同樣不能被忽略, 其中、工藝慶氣污染問題是特別值得關注的。本文針對半導體芯片制透業(yè)產(chǎn)生叻工藝廢氣的污染洽理及風險防范進行了研究。