文檔作者：
楊敏杰
文檔來源：
深圳方正微電子有限公司 |
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更新時(shí)間： 2015年04月27日 |
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論述了特氣的性質(zhì)及分類，對(duì)特氣輸送系統(tǒng)的主要構(gòu)成單元：尾氣處理器、特氣氣柜／氣架、特氣分配箱／分配盤、輸送管線和特氣監(jiān)控／偵測(cè)系統(tǒng)的功能和用途進(jìn)行了介紹，為避免特氣輸送系統(tǒng)出現(xiàn)泄漏，對(duì)特氣系統(tǒng)日常安全運(yùn)行管理和特氣泄漏應(yīng)急處理提出了建議。   |
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